据滨州日报报道,7月19日,北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。集团旗下大晟芯材成功实现6N级高纯氟化氢规模化量产,产品关键指标达国际一流水准,一举填补山东省高纯氟化氢产能空白。
高纯氟化氢是芯片蚀刻、清洗环节不可或缺的核心原料,被誉为半导体产业的“化学雕刻刀”。6N级(99.9999%)高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品,长期被海外企业垄断。滨化通过攻克多重精馏耦合、低析出设备选材、钢瓶洁净防护、微量杂质精准检测四大核心技术,严控金属离子杂质含量低于1ppb。
目前,滨化已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试,并于7月16日取得山东省特种设备检验研究院颁发的气瓶充装许可证,具备完整的生产、充装、销售资质。6N级高纯氟化氢市场附加值高,市场价格在200万元/吨以上。依托此次突破,滨化将持续延伸卤系电子特气产业链,已开工建设的1.7万吨规模阳信高端电子化学品生产基地将打造完整产业集群。
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